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金剛石薄膜的發展,制備及應用

更新時間:2009-11-04      點擊次數:3956

簡要介紹了金剛石薄膜的發展,總結了金剛石薄膜的幾種主要制作工藝,并對各種工藝的優,缺點進行了分析.結合對金剛石應用的討論,闡述了金剛石薄膜在工業領域中的應用前景和發展趨勢.

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